7月5日 信息，台积电今年要大规模量产3nm工艺了，三星也是，两家还要在2025年左右量产2nm工艺，对EUV光刻工艺的需要更高，而ASML今年底也会出货新款EUV光刻机NXE:3800E，2nm工艺就靠它了 。

ASML是唯一能量产EUV光刻机的公司，并且迭代了 屡次，重要是 晋升能效及产能，当前最新的型号是NXE:3600D，NXE:3800E 方案是年底出货，进一步减低EUV光刻的成本 。

NXE:3800E光刻机的曝光 威力将达到30mJ/cm2，WPH每小时产能大概是195片晶圆，后续还会 晋升到220片晶圆/小时，产能比当前型号高出30%以上 。

至于报价，NXE:3800E的价格还没有权威说法，然而此前EUV光刻机就卖到1.5亿美元以上，这两年还有通胀等因素，价格10亿起步是少不了的 。

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