我们晓得光刻机很贵，而7nm工艺以上所需的EUV极紫外光刻机更贵，并且还是一个十分耗电的电老虎 。据媒体报导，台积电每台EUV光刻机天天耗电量高达3万度，其最新规划的3nm工厂年耗电量将达70亿度 。缺电，或成为掣肘台积电的首要因素之一 。

EUV光刻机天天耗电3万度

之所以EUV光刻机如此耗电，是由于SK 海力士此前曾 示意：EUV 的能源转换效率惟独 0.02% 左右 。当前250瓦功率的EUV光刻机，需求输入0.125万千瓦的电力 能力达到，这个耗电量是传统氩氟雷射的 10 倍以上 。250W的EUV机器工作一天将会 消费3万度电 。

“极紫外光物理 特点与普通常见的紫外光差别极大 。这种光十分方便被汲取，连空气都不透光，所以整个生产环境必须抽成真空；同时，也 无奈以玻璃透镜折射，必须以硅与钼制成的特别镀膜反射镜，来 批改光的前进方向，并且每一次反射仍会损失 3 成能量，但一台EUV机台得 通过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最终大约不得不剩下不到 2% 的光线 。”这也是 EUV 机台如此耗电的主因之一 。

正由于如此，台湾的人均耗电量高得惊人， 彻底是由于台积电拉高了 均匀值 。而随着 寰球的先进新品都在台积电进行代工生产， 因而其产能全开电力供给将会 承受严苛的考验 。台积电假如想要 接续攀登先进工艺的巅峰，可能首先需求考量电力供给的问题了 。

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