3+亿美元能造1.8nm!Intel收到全球第一台高NA EUV极紫外光刻机 |
珠江路在线
2024年1月8日
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1月7日 信息,Intel官方 宣告,位于俄勒冈州的晶圆厂已经收到ASML发货的 寰球第一台高NA(数值孔径) EUV极紫外光刻机,型号为“Twinscan EXE:5000”,它将协助Intel 接续推动摩尔定律 。
Intel早在2018年就向ASML订购了这种新一代光刻机,将用于 方案今年量产的Intel 18A创造工艺,也便是1.8nm级别 。
Intel还第一个下单了改良型的Twinscan EXE:5200,将在2025-2026年用于更先进工艺 。
依据此前报导,ASML将在2024年生产最多10台新一代高NA EUV光刻机,其中Intel就定了多达6台 。
到了2027-2028年,ASML每年都能生产20台左右的高NA EUV光刻机 。
新光刻机的价格估量至少3亿美元,甚至可能达到或超过4亿美元,也便是 逼近人民币30亿元,而现有低NA EUV光刻机需求2亿美元左右 。