ASML澄清与中芯国际交易:EUV与DUV光刻机一字之差大不同

珠江路在线   2021年3月5日  【 转载 】中关村在线 

近日,中芯国际与ASML达成12亿美元交易购买晶圆生产 设施的 信息激发关注 。针对双方此次合作,有媒体报导称“除了 EUV 光刻机,中芯国际 几乎 能够买到 其余全部型号的光刻机 。”然而这一说法很快被ASML官方 澄清,该 协定与DUV光刻技术的现有 协定 有关 。

可能众多网友看到这里有点蒙圈,这绕来绕去的到底是玩的什么文字游戏 。这里先进行一个小科普,EUV和DUV到底有啥区别呢?EUV也便是“极深紫外线”的意思,而DUV是“深紫外线”的意思,通过字面就晓得EUV看上去就比DUV高级,实际上也是如此 。

ASML

澄清与中芯国际交易细节 除EUV和仅DUV一字之差
ASML 澄清与中芯国际交易细节

普通来讲,DUV 根本上不得不做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,然而却 无奈达到10nm以下 。惟独EUV能满足10nm以下的晶圆创造,而且还 能够向5nm、3nm 接续蔓延 。事实上EUV光刻机的浮现, 确切是协助业界 打破7nm制程的一个 要害 。

当年不是传说已经翻车的武汉弘芯曾经 占有也是国内唯逐个台 能够用于生产7nm芯片的EUV光刻机嘛,但还没启用就拉去银行抵押贷款了 。这一事件曾经一度引起业界 轰动,并作为人们茶余饭后的谈资流传至今,由此可见7nm EUV光刻机是 如许 要害的存在 。

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澄清与中芯国际交易细节 除EUV和仅DUV一字之差
ASML EUV光刻机

好了,回到正题 。对于中芯国际和ASML双方的申明,到底该如何 了解呢? 迟钝的笔者思量了半天, 大体 了解为他们说的其实是“除了EUV都能”和“仅限现有DUV”的区别,乍看之下再联想到当前的现状这两者其实没什么区别,然而ASML的说法更 谨严一些 。

由于假如 将来技术更先进了,又出来一个"FUV"光刻机呢,那“除了EUV都 能够”的说法是存在 漏洞的 。或者ASML技术迸发了,通过DUV技术就做到了1nm先进工艺,所以ASML十分 谨严的设立定了两个 制约条件:"该 协定与DUV光刻技术的现有 协定 有关 。"

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澄清与中芯国际交易细节 除EUV和仅DUV一字之差
中芯国际 洽购的是DUV光刻机

好了,以上便是ASML 澄清中芯国际购买 协定事件的解读,您弄懂他们中间的差别了吗?

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